• سپاسگزاری (4)
• چکیده (5)
• فهرست مطالب (6)
• فهرست شکلها (9)
• فهرست جدولها (16)
• پیشگفتار (17)
• 1- مقدمهای بر اپتیک الکترونی (20)
  • 1-1- اصول لنزهای الکترونی (20)
    • 1-1-1 لنزهای باریک و ضخیم (22)
    • 1-1-2 اپتیک نوری و اپتیک الکترونی (24)
      • 1-1-3-1 نقاط اصلی لنز (25)
    • 1-1-3 اپتیک پایهای لنزها (27)
    • 1-1-4 ماتریسهای انتقال ساده (31)
  • 1-2 انواع لنزهای الکترواستاتیک (35)
    • 1-2-1 لنز روزنهای (35)
    • 1-2-2 لنز ایمرشن (41)
    • 1-2-3 لنز اینزل (44)
    • 1-2-4 لنز چهار قطبی (48)
  • 1-3 معادلات پرتو در سیستمهای تقارن محور (52)
  • 1-4 امیتانس و شدت روشنایی پرتو (57)
    • 1-4-1 معادلات امیتانس و شدت روشنایی (57)
    • 1-4-2 تأثیر لنز بر بیضی امیتانس و پوش پرتو (63)
    • 1-4-3 ضریب پذیرش یک کانال (66)
• 2- اپتیک پرتوهای ذرات باردار در حضور بار فضایی[15] (68)
  • 2-1 مدل‌های نظری (68)
  • 2-2 پرتوهای تقارن محور در فضای بدون میدان (75)
    • 2-2-1 پرتوی لامینار با چگالی مقطع یکنواخت (75)
    • 2-2-2 پوش پرتو با امیتانس محدود (86)
    • 2-2-3 جریان حدی در مدل یکنواخت (87)
  • 2-3 پرتوهای تقارن محور در میدان اعمالی خارجی (89)
    • 2-3-1 معادله پرتو هم محور در حضور بار فضایی (89)
    • 2-3-2 انتشار پرتو در یک کانال همگرا کننده یکنواخت (90)
• 3- شبیهسازی[16] (97)
  • 3-1 نرم‌افزار CST STUDIO SUITE (97)
    • 3-1-1 ابزار ردیابی ذرات (Stationary Particle Tracking Solver) (99)
    • 3-1-2 ابزار شبیه‌ساز دنباله میدان (Wakefield Solver) (100)
    • 3-1-3 ابزار شبیه‌ساز ذره در سلول (Particle-in-Cell (PIC) solver) (101)
    • 3-1-4 انتخاب ابزار مناسب برای شبیهسازی (102)
  • 3-2 انتشار پرتو در فضای بدون میدان (103)
    • 3-2-1 گسیل با شیب اولیه صفر (103)
    • 3-2-2 گسیل با شیب اولیه (112)
  • 3-3 انتشار پرتو در میدان ثابت (119)
  • 3-4 روزنه (127)
  • 3-5 لنز اینزل (136)
  • 3-6 مشخصهیابی لنز اینزل (148)
  • 3-7 بررسی وضعیت نقطه فوکوس در لنز اینزل (153)
• 4- سیستمهای لیتوگرافی مبتنی بر EBL و نقش بار فضایی در عملکرد آنها (164)
  • 4-1 اهمیت و تاریخچه EBL (164)
  • 4-2 اصول سیستمهای EBL (165)
  • 4-3 اصطلاحات فنی رایج در EBL (168)
  • 4-4 محدودیتها و راهحلها (170)
  • 4-5 بررسی اثرات بار فضایی در ساخت ساختار 25/0 میکرومتری (172)
• 5- نتیجهگیری و پییشنهادات (176)
• ضمیمه (177)
  • روش انتگرال محدود (177)
• مراجع: (182)